アルカリエッチング装置詳細情報

• 少ロット向けアルカリエッチング装置　　　　
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                                       装置本体                                                      自動移載機構

                                     エッチング槽                                                        QDR槽

本体詳細

• 本装置は少ロット生産向けの装置です。
• 処理可能ウェハーサイズ：Φ200mm、Φ300mm（当社製造実績） 各サイズ専用機となっております。
  複数のウェハーサイズの処理をご希望の場合、作業者によるウェハーのバレル移し替えが必要となります。
  （自動でのカセット－バレル移載機能は使用できません） 
• 自動でカセットより専用処理バレルへ移載いたします。
  （1サイズ専用機）
• ローディング部とアンローディング部が共通となっております。
  （リターン方式の為、連続処理はできません）
• 各処理槽共にバレル回転機構があり、均一な処理を行うことができます。
• 作業者への安全対策として、装置扉にインターロック標準装備。
• 工場側薬液供給システムへの接続用信号を標準装備しています。
  （各薬液要求用有接点信号）

その他

• 制御方式：PLC制御　使用機器メーカー：OMRON（ご指定のPLCでの製作対応可能）
• 操作方式：タッチパネル　使用機器メーカー：デジタル（ご指定のタッチパネルでの製作対応可能）
• 搬送方式：ACサーボモータ駆動