自動洗浄装置詳細情報（バッチタイプ）
- 自動洗浄装置
操作部一体型 操作部分離型 有機洗浄
φ300mm搬送 サイズ混合搬送 スピン乾燥
本体詳細
- 本装置は、シリコンウェハーをロボットにより搬送し自動洗浄処理を行う装置です。
- ウェハーカセットごと洗浄処理を行います。
- 薬液槽と水洗槽等の組み合わせにて多岐に渡る洗浄工程を実現できます。
- 装置内構成例：ローダ→薬液槽→QDR槽→純水OF槽→スピン乾燥→アンローダ
使用する薬品および各処理方法等はお客様のご仕様に応じて製作いたします。 - 処理可能ウェハーサイズ：Φ100~Φ200mmまで混合対応した洗浄機とΦ300mm専用洗浄機があります。
- 作業者への安全対策として、装置扉にインターロック標準装備。
- 工場側薬液供給システムへの接続用信号を標準装備しています。
（薬液要求用有接点信号） - 洗浄時間（レシピ）は処理槽、QDR槽、純水槽、乾燥、ごとに設定でき、10種類(パターン）登録する事が
できます。（標準）
その他
- 制御方式：PLC制御 使用機器メーカー：OMRON（ご指定のPLCでの製作対応可能）
- 操作方式：タッチパネル 使用機器メーカー：デジタル（ご指定のタッチパネルでの製作対応可能）
- 搬送方式：ACサーボモータ駆動
