薬液供給装置

特徴		・洗浄装置に多種の薬液を精密に供給、回収可能な装置の提供
		・省エネルギー、省スペース対応
		・クリーン環境の保持
		・液漏れ対策付
適応分野		・半導体洗浄装置　　・現像装置
適応分野		・レジスト剥離装置　　・エッチング装置
装置機能		・温度制御　　・冷却　　・循環ろ過
装置機能		・秤量　　・排気ダクト　　・安全対策
タンク材質		・ＰＴＦＥ　　・石英
タンク材質		・ＰＶＣ